古寺初建于北齐天宝年间，是在慧远草创后，经北齐、北周、隋、唐修建而成的，为佛教弥勒净土宗寺院。主要建筑有正殿、南殿。正殿内佛坛宽大，建筑除留有少量宋代遗构外，已被后人修补得面目全非、但殿内所存唐代彩塑6尊，是全国现存唐代寺观塑像三处70余尊中的一处6尊，是不可多得的艺术珍品，这些塑像面容丰满，肌肉健美，身式微曲，姿态自然，皆与唐塑风格一致。尤其是释迦牟尼彩塑一尊，高约4米，雕塑精细，金光映人。其右手的处理自然妥贴，颇具重量感，与西方名画《蒙娜莉莎》具有相通之处，艺术价值极高。
南殿彩塑12尊，风格上沿袭唐风，注重写实，生动传情。唐碑《硖石寺大隋远法师遗迹记》碑首佛殿图一幅，是已发现的中国古代建筑史上罕见的实物资料。南殿面阔三间，内置彩塑十二尊，其中佛坛前部五尊为宋塑。居中为结跏跌座于莲台的释迦佛，两侧为侍胁文殊、普贤二菩萨及迦叶、阿难两弟子，雕刻手法仍沿袭唐风。碑首线刻弥勒佛殿图(亦称弥勒讲经图);它所显示的佛殿，布局完整，山门、围廊、讲坛、佛殿莫不具备，是研究唐代寺院格局和形制的最好资料。北大殿有文殊、普贤、释迦等唐代塑像，为寺中珍品。
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